Reference number
ISO 16700:2016
© ISO 2024
International Standard
ISO 16700:2016
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification
Edition 2
2016-08
Preview
No disponible en español
Publicado (Edición 2, 2016)
Esta publicación se revisó y confirmó por última vez en 2023. Por lo tanto, esta versión es la actual.

ISO 16700:2016

Idioma
Formato
CHF 96
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Resumen

ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2016-08
    Etapa
    : Norma Internacional confirmada [90.93]
  • Edición
     : 2
    Número de páginas
     : 18
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 202/SC 4
    ICS :
    37.020 
  • RSS actualizaciones

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