Draft
International Standard
ISO/DIS 19383
Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Reference number
ISO/DIS 19383
Edition 1
© ISO 2025
Proyecto Norma internacional
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No disponible en español
En desarrollo
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ISO/DIS 19383

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Resumen

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informaciones generales

  • Estado
     : En desarrollo

    Puede contribuir al desarrollo del borrador de esta norma internacional. Para ello, contacte con su miembro nacional

    Etapa
    : Voto sobre el DIS iniciado: 12 semanas [40.20]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 13
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 107
    ICS :
    25.220.01 
  • RSS actualizaciones

Ciclo de vida

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9
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