Draft
International Standard
ISO/DIS 19383
Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Reference number
ISO/DIS 19383
Edition 1
© ISO 2025
Proyecto Norma internacional
En desarrollo
Este borrador de Norma Internacional se encuentra en la fase de consultas con los miembros de ISO.

Resumen

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informaciones generales

  • Estado
     : En desarrollo
    Etapa
    : DIS registrado [40.00]
  • Edición
     : 1
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 107
    ICS :
    25.220.01 
  • RSS actualizaciones

Ciclo de vida

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9
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