Norme internationale
ISO 13083:2015
Analyse chimique des surfaces - Microscopie à sonde à balayage - Normes sur la définition et l'étalonnage de la résolution spatiale des microscopes électriques à sonde à balayage (ESPMs) comme SSRM et SCM pour l'imagerie 2D-dopant et d'autres fins
Numéro de référence
ISO 13083:2015
ISO 13083:2015
Edition 1
2015-08
2015-08
© ISO 2024
Norme internationale
p
ISO 13083:2015
52691
Indisponible en français
Publiée
(Edition 1, 2015)
Cette norme a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2022.
Cette édition reste donc d’actualité.
Résumé
ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.
Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2015-08Stade: Norme internationale confirmée [90.93]
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Edition: 1
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Comité technique :ISO/TC 201/SC 9ICS :71.040.40
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