Résumé
ISO 19606:2017 describes a method to evaluate the adequateness of a probe tip for fine-ceramic thin-film surface roughness measurements by atomic force microscopy, of surfaces with an arithmetical mean roughness, Ra, in the range of about 1 nm to 30 nm and a mean width of roughness profile elements, RSm, in the range of about 0,04 μm to 2,5 μm.
Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2017-02Stade: Norme internationale à réviser [90.92]
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Edition: 1
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Comité technique :ISO/TC 206ICS :81.060.30
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Cycle de vie
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Actuellement
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Révisée par
ProjetISO 19606